2018年10月18日，清华大学发布了“高分辨高灵敏度表面分析系统采购项目”中标公告，TESCAN S9000X氙等离子源双束FIB系统成功中标！TESCAN S9000X是TESCAN于今年刚刚发布的最新型氙等离子源FIB双束电镜系统。这次成功中标，也意味着在中国非半导体行业，拥有了第一台氙等离子源的双束FIB系统。

中标清华大学“高分辨高灵敏度表面分析系统采购项目”

本项目的最终用户为清华大学材料科学与工程研究院中心实验室，该中心实验室始建于1980年，当时称为清华大学材料科学研究所中心实验室。此后实验室得到快速发展，目前中心实验室的公用平台有各类大型精密分析测试仪器50多台套，在仪器及其功能数量方面，与同类实验室相比，在国内处于领先地位。

清华大学材料科学与工程研究院中心实验室是面向全校和校外开放服务的分析测试平台，为清华大学校内外相关领域的研究人员、科学家、工程师提供服务，主要做材料的结构、组分及性能的测试分析，因此对材料微区表面的分析具有很高的要求，而这也是TESCAN微分析综合解决方案的优势所在。

清华大学材料学院逸夫楼—中心实验室所在址

本次项目采购的设备主要用于高分辨表面形貌分析、微区的高灵敏度成分、结构分析及快速的三维重构等应用，而中标的系统是TESCAN S9000X氙等离子源双束FIB，配置了TESCAN独有的共聚焦拉曼（Raman）联用系统及飞行时间—二次离子质谱（TOF-SIMS）联用系统，再加上第三方提供的EDS、EBSD，构建了一整套高分辨、高灵敏度的微观综合分析系统。

这是目前国内第一台在氙等离子源FIB上配置的“显微综合分析平台”，集微观形貌、元素分析、取向分析、结构分析、分子组成、结晶及应力等多种信息表征为一体，是TESCAN“All-In-One”微区综合表征理念的完美体现！同时，这台设备也是国内第6套电镜-拉曼联用系统和第5套双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用系统。

清华大学材料科学与工程研究院中心实验室

自2011年，TESCAN全球首次推出氙等离子源FIB系统，到如今的S9000X系统，产品已经发展到第四代，在软硬件设计、电子枪、离子枪的性能等方面都有了很大提升，S9000X氙等离子源双束FIB系统，目前已可以实现1mm视野的大面积加工。

氙等离子源的FIB系统相比于传统的镓离子源FIB系统，具有切削加工速度快（束流最高可达2uA，是镓离子FIB的50~60倍）、注入效应小等优点，是大尺寸快速加工、大体积三维重构、高质量TEM样品制备的有力工具，以往需要耗时多日才能完成的工作，借助Xe Plasma FIB系统，在几个小时之内便可全部完成，这极大地提高了科研效率。

 TESCAN S9000X氙等离子源双束FIB系统

除清华大学材料科学与工程研究院中心实验室（即材料学院分析测试中心）刚刚采购的这台设备外，上海交通大学分析测试中心也采购了类似的“显微综合分析”系统，其中双束FIB—飞行时间二次离子质谱联用系统已投入使用1年多，为客户解决了诸多问题；而与共聚焦拉曼的联用系统也将在今年11月，在新实验楼验收后安装。

TESCAN独有的微分析综合解决方案能迅速受到市场的认可和欢迎，充分体现了TESCAN电镜在微区综合分析能力上的强大优势。

更值得一提的是，TESCAN产品“All-In-One”的设计理念，使得用户可以在后期根据需要，非常方便地加配原子力显微镜、EBL、EBIC、CL及原位的加热台、冷台、拉伸台等探测器和分析拓展附件，为科研成功创造更多可能！

另一则好消息：

为了让更多老师了解并体验到“ TESCAN 微分析综合解决方案”，2018 年10月23-27日，将在成都市举行的“2018全国电子显微学学术年会”上，TESCAN 将展出 RISE 电镜-拉曼联用系统，并开展现场 Demo 演示和午餐交流会，望感兴趣的老师拨冗参观体验！

现场Demo演示和每日午餐交流会已于9月30日起开始接受预约，您可以关注“TESCAN公司”微信公众号，访问历史推送立刻预约喔！